Vysoká škola báňská - Technická univerzita Ostrava

Title, type and description of public contract

• Title: Dodávka systému magnetronového naprašování
• Type of public contract: Supplies

Brief subject description:
Předmětem plnění veřejné zakázky je dodávka systému magnetronového naprašování, vč. software a příslušenství.
Systém musí být navržen pro magnetronové naprašování (i reaktivní) tenkých filmů (s tloušťkami min ~ 5nm) kovů, kovových slitin, oxidů kovů, nitridů kovů, vícevrstevnatých systémů, na substráty s velikostí v průměru minimálně 4" s prostorovou homogenitou naprašovaných vrstev +/- 2,5% nebo menší. Systém a jeho hardwarové komponenty musí být kompatibilní s teplotou ohřívače až do 1000 °C a teplotou vzorku/substrátu až do 800 °C. Velikost systému v konfiguraci bez chilleru musí být kompatibilní s velikostí laboratoře a tedy s max. rozměry 3 m x 1.7 m. Systém musí obsahovat softwarové ovládání založený na technologii tango, pro nastavení, monitorování a kontrolu depozičních podmínek nanášecího procesu a jeho plně automatický chod depozičního procesu. Software musí dále umožňoval plně automatickou úpravu a běh podmínek nanášení a také uložení a protokolování systémových a procesních parametrů. Systém magnetronového naprašování musí být kompletní se všemi senzory, vakuovými a hardwarovými komponenty, softwarem, adaptéry a konektory.
Podrobná specifikace viz zadávací dokumentace

Procedure type, estimated value

• Procedure type: open procedure
• Public contract regime: above-the-threshold
• Estimated value: 9 300 000 Kč without VAT
• Subsidy project identifier: CZ.10.03.01/00/22_003/0000048

Place of performance

• Ostrava-město

Contracting authority

• Official name: Vysoká škola báňská - Technická univerzita Ostrava
• CRN: 61989100
• Postal address:
  17. listopadu 2172/15
  70800 Ostrava
• Name of the department: Centrum projektové podpory
• Contracting authority profile identification in VVZ: Z2018-044551

Contact address

Tenders or requests to participate submit to:
prostřednictvím elektronického nástroje E-ZAK (https://zakazky.vsb.cz)

Contact